格瑞特蓄电池二氧化硅钝化层的制备工艺
来源:    发布时间: 2019-06-27 20:37   102 次浏览   大小:  16px  14px  12px
  在多晶硅太阳能电池技术范畴,特别触及一种多晶硅太阳能电池用二氧化硅钝化层的制备工艺。采用钝化反响促进液阿拉伯胶对硅片外表停止预处置,使硅片钝化水平更为平均、更为可控,契合清洁、无污染操作工艺。
  技术引见
  格瑞特太阳能电池是一种半导体器件,可以将太阳的光能转换成热能,由于工作时无需水、油、燃料等资源,只需求有光就能发电,因而被称为当代清洁、无污染的可再生资源,而且装置维护简单,运用寿命长、能够完成无人值守,在各范畴越来越得到普遍的应用。多晶硅太阳能电池由于存在大量外表缺陷,影响了电池性能,为了取得较高的光电转换效率,都需求对电池外表停止二氧化硅钝化工艺,钝化层的作用能够概括为:钝化太阳能电池正面,使光生载流子在该界面处的复合速率减小;减小光的反射。但是由于太阳能电池的硅片与氧气在钝化反响时,钝化温度较高,因而反响后的硅片外表钝化水平常常不好控制,影响电池的性能。
  详细操作为:
  (1)将钝化反响促进液平均涂刷在扩散后的硅片外表,并低温烘干,其中,钝化反响促进液为阿拉伯胶以45~70g/L的质量浓度溶于去离子水所构成的溶液,涂刷后的烘干温度为60~80℃;
  (2)将经过步骤处置的硅片置于高温环境下,并同时通入氮气和氧气的混合气体对硅片停止氧化,高温环境的温度为700~800℃,氮气和氧气的体积比为1~15:1,通入氮气和氧气的时间为10~30分钟;
  (3)完成步骤的氧化后,中止通氧,在氮气氛围下将环境温度降至退火温度停止退火处置,冷却,其中,退火温度为300~400℃,退火处置,冷却。
 
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